（中央社記者朱則瑋台北29日電）國研院儀科中心開發出太空衛星鏡片等先進光學與製作鏡片技術，並透過今年台北國際光電大展活動展示相關研發成果，幫助台灣廠商技術升級。

國家實驗研究院儀器科技研究中心以驅動儀器設備在地化為使命，近年來全力投入關鍵儀器設備自製開發，建構台灣產業儀器設備自主化的能量與契機。儀科中心也參與29日至31日舉行的台北國際光電大展，展現在光機電系統、精密光學與前瞻真空技術的自主研發成果與客製化服務績效。

儀科中心今天透過新聞稿指出，今年展出從光學元件設計、製造，至鏡頭模組，乃至結合不同應用需求的光電系統，包括電子顯微鏡試片防護鍍膜系統、桌上型雷射加工裝置、可攜式小型光譜儀、非接觸式位移測頭、電漿輔助原子層沉積系統（PEALD）與第三代可攜式活體動物冷螢光系統等，可應用於半導體、生醫與車用光電等領域。

儀科中心表示，中心是國內唯一能製作太空衛星鏡片的研發單位，近年來持續支持國內太空科技所需的精密衛星光學鏡片與鏡頭開發，同時也將這項技術能量應用於國內半導體及精密光學產業，這次展示公開自主設計開發結合手機的TeleMa，是一款專為行動裝置設計的模組化專業微距鏡與長焦鏡頭，並且可搭配客製鏡頭，拓展為「五官鏡」使用，能更容易的實現五官內視鏡檢查行動醫療服務，應用潛力備受矚目。

至於在真空系統的研製技術上，儀科中心以原子層沉積技術 （ALD）為開發重點，已提供學界與業界多套自製ALD系統，這次展出自行研製開發的「電子顯微鏡試片電子損傷防護鍍膜系統」，是一桌上型ALD鍍膜系統，專為小尺寸試片與探針製鍍超薄奈米結構，具備高密度表面絕緣保護膜製鍍品質，可應用於生物試片與原子解析度三維重構試片製鍍。

另外，現場展出的一吋電漿輔助原子層沉積系統（PEALD），則是為台灣專業研發及製造各種先進材料與應用技術的客戶量身客製的機台。（編輯：林興盟）1070829


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